产品简介

日本电子JEOL肖特基场发射扫描电镜IT800
半浸没式物镜是指在通常物镜的下部还有一个由泄露磁场形成的强磁场透镜。JEOL的半浸没式物镜能够提高电子束的聚焦能力，实现超高分辨率。而且还能够更高效地收集那些从样品激发出来的低能量二次电子，提高UID检测器的检测效率。

日本电子JEOL肖特基场发射扫描电镜IT800产品介绍：

一、日本电子JEOL肖特基场发射扫描电镜IT800高分辨率成像能力

JSM-IT800采用浸没式肖特基Plus场发射电子枪，结合低像差聚光透镜和Neo Engine电子光学控制系统，实现了纳米级分辨率。其二次电子图像分辨率在15kV加速电压下可达0.5nm，即使在1kV低电压下仍保持0.7nm的高分辨率。这一特性使其在观察纳米材料、半导体器件等微观结构时具有显著优势，例如可清晰显示小于10nm的催化剂颗粒分布。

二、灵活模块化设计

多种物镜选择：提供五种物镜模块，包括通用型混合透镜（HL）、高分辨率超级混合透镜（SHL/SHLs）以及专为半导体设计的半浸没式物镜（i/is），满足从磁性材料到绝缘体的多样化分析需求。

可扩展探测器系统：配备新型闪烁体背散射探测器（SBED）和多功能背散射探测器（VBED），SBED在低电压下仍能捕捉清晰的成分对比图像，而VBED支持3D形貌与成分信息的同步获取，适用于复杂样品的多维度分析。

三、智能化操作与高效分析

集成化控制平台：通过SEM Center图形界面无缝整合能量色散X射线谱仪（EDS），实现实时成分分析与图像显示的无缝切换，提升分析效率。

AI辅助功能：引入LIVE-AI滤镜优化实时图像质量，支持快速聚焦和像散调整；可选软件如Smile Navi为新手提供操作导航，降低使用门槛。

自动化调节：具备自动合轴、聚焦、消像散等功能，结合五轴马达驱动样品台（支持360°旋转和倾斜），简化复杂操作流程。

四、广泛适用性与工业兼容性

JSM-IT800在纳米技术、半导体、材料科学、生物医学等领域表现zhuoyue。例如，其超级混合透镜（SHL）可高效分析磁性材料，无需切换模式；半浸没式物镜（i/is）则擅长半导体器件的横截面故障分析。此外，设备支持大束流下的高分辨成像（如100nA@5kV），结合高速元素面分析和EBSD（电子背散射衍射）功能，满足工业质检的快速检测需求。