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ESD微型器件兼容性测试机台

简要描述:产品简介本测试设备兼容被测器件的各种尺寸,特别是可以支持极小间距的器件,且方便排列器件进行测试。可选择进行手动操作和半自动测试,在施加静电后,可支持DC测试。产品用途本产品对于目视困难的微细间距DUT和微小尺寸DUT等半导体器件可进行准确的探测。另外,可不用探针进行晶圆等级的ESD试验:1.适合各种形状的样品。 2.理想的微型器件ESD测试。3.可通过选件实现HBM,MM测试。4.HBM测试8KV。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-10-18
  • 访  问  量:232
详细介绍
产品规格
产品详情

测试设备的构成:

                                              ESD 模拟器  

                                                          ●MR/GMR 头  

                                                          ●小零件、芯片  

                                                          ●LCD 板

                                                          ●TR、IC 二极管等  

                                                          ●LCD 板

                                                          ●小模块  

                                                          ●PC 板功率,信号 Pins  

                                                          ●IC 卡、Memory 卡 


                                              通用指标  

                                                          测试 pin:单 pin  

                                                          ●满足标准:JEDEC, AEC, EOS  

                                                          DC 测试功能: 30V/ 1A,(最小 10mV / 10nA )*  

                                                          测试电压:HBM 125V~8KV  :MM 10V~2KV  •ESD 脉冲数:1~10 或连续  

                                                          DUT 固定部件:IC 插孔或仅被测件  

                                                          ■HBM 应用  

                                                          ■HBM 应用和破坏判断功能  

                                                          ■MM 应用  

                                                          ■MM 测试和破坏判断功能


                                              型号

•安全功能:开关启动  

•AUTO/LOCAL 设置:LED 标识  

•外部控制:GP-IB  

•主机控制器:PC (Windows10)和 LCD 显示器  

•DC 源表:6240B 或相当品  

•X-Y stage:手动 35mm 操作  

•数字显微镜:UM12 或相当品  工作距离高度:8mm-159mm  图像:静止图像,视频  像素:500 万像素  通过 USB 连接电脑,自动对焦  

•机械手:204CR 204CL 或相当品  

•DUT 测试板:DUT 测试板-A(带 IC 插孔)DUT 测试板-B(不带 IC 插孔)  

•供电电源:  AC90V-240V 50 / 60Hz  

•尺寸:  ① 主机:350(W)×130(H)×450(D)mm  ② 显微镜:48(W)×64(W)×150(H)mm  ③ DC 源表 210mm(W)×88mm(D)×400(D)mm  有关半自动测试功能:  ESD 输出 ON / OFF DC 测试 START / STOP  无法进行 ESD / DC 测试切换


配置指南

1、标准配置:  

•X-Y stage:(X-Y 手动操作±35mm)  

•数字显微镜(配备专用软件)  

•机械手:204CR 204CL 或相当品(L 形臂带 5 pins)  

2、选件  

•HBM EPG HBM: max ±8KV HBM 发生器  

•MM EPG MM: max ±2KV MM 发生器  

•DC 测试和破坏判定选件(Model 6240B 或相当)破坏判定用  

•PC Win10, GP-IB 接口,GP-IB 线&测试程序 破坏判定用(显微镜 显示器)   


注:本装置可选择如下两种:   

1、手动的对被测物的 pin 角进行定位,然后对被测物 施加 ESD 脉冲测试。  

2、手动的对被测物的 pin 角进行定位,并对被测物施加 ESD 脉冲测试后,自动对 pin 角是否损坏进行判定。


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